簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "Pad".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="拋光墊修整移除率"


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    修整力量分析於聚氨酯拋光墊修整移除率與表面形貌模擬驗證研究
    • 機械工程系 /109/ 碩士
    • 研究生: 楊賴友 指導教授: 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化製程中,化學拋光液與晶圓移除之殘碎會導致拋光墊表面產生鈍化的情況,因此透過拋光墊修整將拋光墊表面已鈍化表面移除,維持穩定的晶圓移除率。本研究將探討修整力量下的拋光墊修整移除率與表面形…
    • 點閱:199下載:0
    • 全文公開日期 2024/08/25 (校內網路)
    • 全文公開日期 2024/08/25 (校外網路)
    • 全文公開日期 2024/08/25 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)

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    化學機械平坦化之行星式及搖臂式動態模型對拋光墊修整分析與影響研究
    • 機械工程系 /110/ 碩士
    • 研究生: 宋政潮 指導教授: 陳炤彰
    • 在化學機械平坦化製程中,化學拋光液和晶圓移除的殘屑可能會積 聚在拋光墊表面,通過修整製程去除這些殘屑。故此拋光墊修整對於 CMP 性能至關重要且影響 IC 製造良率。本研究主要針對比較行星式修 整和…
    • 點閱:127下載:3
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